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歸類決定編號:Z2024-0017
歸類決定稅號:84869099
商品名稱:集成電路(含半導(dǎo)體器件)制造用自粘式圓形拋光墊
規(guī)格型號:無
英文名稱:
其他名稱:
商品描述:該商品專用于集成電路(含半導(dǎo)體器件)制造工藝用的化學(xué)機械拋光(CMP)機,加工面材質(zhì)為多孔聚氨酯泡沫,反面帶有自粘材料,可以裝配在拋光機的拋光平臺上。配合拋光液對已經(jīng)在晶圓表面蝕刻了電路的集成電路半成品(芯片可以有多層電路構(gòu)成)進行拋光,拋光對象為由金屬、半導(dǎo)體等材料構(gòu)成的表面。
歸類決定:該商品為拋光墊,是一種專用于加工集成電路的自粘式圓形拋光墊,參照十六類類注二關(guān)于零件的歸類原則,根據(jù)歸類總規(guī)則一及六,應(yīng)歸入稅則號列8486.9099。